基材加热专家
加热器阶段
在圣柏林，我们为处于真空炉行业的前沿而感到自豪。我们的定制多功能系列提供完整的服务，为您提供任何应用所需的工具
水冷和气冷
圣柏林为所有沉积系统应用提供全系列的热台样品加热器。圣柏林在我们的加热器阶段提供的一个重要功能是水冷却，它具有许多优点，包括：
- 与客户系统集成
- 规定的压力和流量以确保充分冷却
- 适用于所有类型的加热器，包括旋转加热器头
- 与样本偏置一起使用
- 冷却电源馈通以允许更高的电流
- 减少腔室和其他设备的热负荷
 |
 |
水冷加热器可以以任何方向安装，并与我们全系列的机械手和偏置系统一起使用。圣柏林还根据需要为冷水机提供我们的水冷级。
如果需要快速冷却样品，圣柏林提供气体冷却选项。惰性气体流过样品以快速冷却，从而缩短处理时间。我们与客户合作，为您的应用提供合适的阀门和配件。
图表显示了带有气体冷却的热边缘加热器台的实际数据。红线显示不存在气流的阶段冷却曲线。蓝线显示气冷剖面。随着气体的流动，加热器需要 4 分 10 秒才能达到安全排气温度（此阶段为 300°C）。在没有气流的情况下，大约需要 20 分钟。
 |
客服1