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最新 圣柏林 450mm 真空加热器卡盘的重点是高达 450°C 的原子层沉积 (ALD) 应用。该设计是一个压缩组件，底板上有许多真空孔和凹槽，以便在真空室抽真空期间允许气体逸出。无需表面阳极氧化处理。 这种高效的真空加热器在 45 分钟内达到 450°C 的大气温度（不锈钢中为 700°C）。底板上质量的减少提供了适当的气体消除和更快的初始升温时间。由于升温时间缩短，降低瓦数可能是 450mm 真空加热器吸盘未来迭代的一个选择。 |
规格
- 板体：铝 6061
- 密封组件：不锈钢
- 电加热元件：3,850 瓦 (+/- 10%) / 240 伏
- 最高温度：真空中 450°C
- 加热器护套过渡和压缩部件：不锈钢 304
- 有领压缩套筒在两个位置钎焊
- 16ra，表面处理，无阳极氧化
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