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真空加热盘+水冷盘真空加热器 我们的定制多功能系列提供完整的服务，为您提供任何应用所需的工具。 |
真空加热器概述
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在圣柏林，我们为薄膜沉积和样品处理的研究和工业提供经济高效、高均匀性的晶圆加热器、真空加热器和样品加热器。我们的样品加热器可配备固定器或夹子，以固定一系列半导体晶圆或样品。 所有加热器均经过全面测试。我们的内部测试能力包括氦泄漏检查、使用真空测试系统的全温度测试以及使用 FLIR 热像仪的均匀性测试。圣柏林已通过 ISO 9001 认证。 |
圣柏林设计团队与客户密切合作，提供：
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CHUCK基板真空加热器
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特征
- 标准直接接触式样品加热器可用于 1 英寸（25.4 毫米）至 6 英寸（152.4 毫米）热区的样品尺寸。特殊设计可提供更大尺寸
- 灯加热器适用于辐射加热应用
- 适用于高真空、特高压、氧气、空气和腐蚀性环境的配置
- 标准元件材料为铬镍铁合金、镍铬合金(NiCr)、碳碳复合材料(CCC)、纯碳化硅 (SiC 3 ) CVD 涂层石墨和钨
- 标准温度高达 1600°C（可根据要求实现更高温度）
- 快速爬坡且高效
- 配有合适的内部热电偶来测量控制温度
- 独立式、螺柱安装或法兰安装
- 完整系统的基本要素
- 样品加热区域均匀性良好（<±2%）。超高均匀度范围（<±1%）
- 可采用水冷来最大程度地减少腔室的热负荷
- 可根据要求提供更大尺寸和不同形状
- 完全可定制，提供完整的定制解决方案
- 可在需要旋转、Z 轴移动和 RF 或 DC 偏置的地方安装载物台
- 包括真空和空气侧电缆组件
- 在英国制造和测试
致力于质量
所有加热器均经过全面测试。我们的内部测试能力包括氦泄漏检查、使用真空测试系统的全温度测试以及使用 FLIR 热像仪的均匀性测试。圣柏林已通过 ISO 9001:2015 注册。
样品加热台
圣柏林为所有薄膜沉积系统应用提供全系列的样品加热热台。加热器和样品可以以任何方向安装，圣柏林 系列操纵器为样品旋转、加热器旋转、样品转移和样品/加热器定位提供了经济高效的选项。
样品加热台可提供高达 1000W 的样品偏置（射频或直流），并配有温度控制器和电源。对于具有射频偏置的加热器和平台，可以提供全屏蔽和电源/热电偶线路滤波。水冷式加热器可配备冷水机。
定制
圣柏林 专门为使用标准加热器和平台无法实现的加热应用提供定制解决方案。圣柏林 设计团队与客户密切合作，提供：
- 专业管理的项目
- 尽可能使用标准 圣柏林 组件和组件的经济高效的解决方案
- 详细的技术图纸和书面规格
- 3D CAD 模型（如果需要）
- 经过全面测试并可与您的系统集成的加热解决方案
详细安装、规格和操作说明的手册
温度控制器
使用温度控制器，可以根据规格要求定制基板加热，为化学气相沉积系统制备薄膜。
客服1