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概述用于制造 300mm 硅片的真空加热器基座。真空中温度需要~650°C，304不锈钢材料，底部有2.75 CF法兰。用于提升晶圆的三个小顶面台阶和一个三销放置位置以防止晶圆从加热器上滑落。 |
特征
- 温度650℃-700℃
- CF 2.75 底部真空法兰，底座式
- 氦气组装完成时泄漏率为 1 x 10 -9 cc/sec He
- 加热器顶部与 CF 法兰之间的热断裂
- 内置热电偶，用于过温保护或控制未接地
- 用于读取未接地底部温度的附加 TC
- 1900 瓦 (± 10%)，240 伏
- 组件底部的安装螺纹
- 材质：304不锈钢
客服1